Osnovna oprema avtomatizirane proizvodne linije PR Cleaning za proizvajalce LCD zaslonov
Avtomatizirana proizvodna linija za čiščenje PR (fotorezista) je osnovna oprema za mokre procese v proizvodnji LCD zaslonov. Uporablja se predvsem po postopku fotolitografije na substratu niza za temeljito odstranjevanje ostankov fotorezista, ostankov jedkanja in površinskih mikro-kontaminantov. To je ključna oprema za zagotavljanje natančnosti vezja plošče in izboljšanje izkoristka izdelka. Popolnoma primeren za strogo proizvodno okolje čistih prostorov razreda 100, dosega visoko-natančne, avtomatizirane in -brez onesnaževanja zaprte-zanke.
Usmerjen na pozitivne in negativne ostanke fotorezista po postopku fotolitografije, uporablja več-stopenjski ultrazvočni postopek čiščenja + postopek izpiranja preliva s čisto vodo za globinsko odstranjevanje smeti, organskih onesnaževalcev, prašnih delcev in drugih nečistoč, ki ostanejo po fotolitografskem jedkanju. Lahko temeljito odstrani mikroskopske ostanke pod 0,5 μm in prepreči okvare, kot so odprta vezja na plošči, svetle lise in lise Mura, ki jih povzročajo nečistoče. V kombinaciji z 0,1 μm visokim-natančnim filtrirnim sistemom preprečuje sekundarno onesnaženje. Doseže temeljito odstranitev brez-poškodb, pri čemer se izogne vplivu ostankov lepilnih plasti na poznejše postopke jedkanja in premazovanja, s stopnjo pokritosti odstranitve 100 %.
Vgrajen-elektrostatični nadzorni modul ESD strogo nadzoruje elektrostatično vrednost v območju Manj kot ali enako ±100V. V kombinaciji z anti-statičnim materialom in brez{4}}tehnologijo dovajanja magnetnega kolesa preprečuje, da bi elektrostatična razelektritev poškodovala natančno vezje plošče, obenem pa tudi praske, odkruške in nastajanje prahu zaradi trenja na stekleni podlagi, s čimer je čim večja zaščita celovitosti podlage.
Preskusna komora s konstantno temperaturo pri visoki in nizki temperaturi
Jedro avtomatizirane opreme proizvodne linije za čiščenje in sušenje za proizvajalce LCD zaslonov vključuje dvojni način sušenja: rezanje z zračnim nožem in sušenje z vročim zrakom pri stalni-temperaturi. To hitro odstrani vodne madeže s površine podlage in tako doseže sušenje-brez vodnih žigov in-sledov. Po sušenju se vsebnost vlage na površini substrata približa ničli, kar omogoča neposreden prenos v naslednji postopek brez sekundarne obdelave, kar zagotavlja kontinuiteto procesa. Krmilni sistem PLC omogoča popolnoma avtomatizirano-nakladanje, pozicioniranje, čiščenje in razkladanje. Podpira-nadzor v realnem času in funkcije alarma za prilagajanje koncentracije čistilne raztopine, temperature, vlažnosti in čistoče. Zaprta komora in konstrukcija gradientnega negativnega tlaka preprečujeta uhajanje kemičnih plinov. V kombinaciji z okoljem s pozitivnim tlakom čistih prostorov razreda 100 omogoča tudi recikliranje ultračiste vode ter razvrščanje in predelavo odpadnih tekočin, s čimer izpolnjuje zahteve za-varčevanje z energijo in varstvo okolja.
V primerjavi s tradicionalnim ročnim čiščenjem imajo popolnoma avtomatizirane proizvodne linije za čiščenje PR nenadomestljive prednosti: učinkovitost čiščenja se poveča za več kot 3-krat, na izmeno pa je mogoče obdelati skoraj 10.000 steklenih podlag, kar bistveno skrajša procesni cikel; doslednost čiščenja je odlična, temeljito odstranjuje mikro-ostanke, manjše od 0,5 μm, nadzoruje stopnjo napak na plošči do 0,5 PPM, učinkovito preprečuje napake, kot so svetle lise, temne lise in prekinitve tokokroga na zaslonu; oprema ima vodo{6}}in energijsko-varčno zasnovo z visoko stopnjo rekuperacije čiste vode ter razvrščenim zbiranjem in čiščenjem odpadne vode, ki izpolnjuje okoljske proizvodne zahteve; celoten stroj je izdelan iz PVC-odpornega proti koroziji in nerjavečega jekla SUS304, z močnim tesnjenjem, enostavnim čiščenjem in vzdrževanjem ter je primeren za 24-urno neprekinjeno delovanje v čistih prostorih, kar je standardna oprema za proizvajalce LCD zaslonov za gradnjo vrhunskih proizvodnih linij in povečanje osnovne konkurenčnosti.
Osnovna oprema v fotolitografski delavnici proizvajalcev LCD zaslonov
Oprema za osvetlitev je osnovna oprema v delavnici za fotolitografijo in ključno procesno področje v procesu izdelave niza LCD. Znan tudi kot stroj za panelno litografijo, je visoko-precizna optična naprava za mokri postopek. Njegova glavna funkcija je prenos vzorca zasnove substratnega vezja na stekleno podlago, prevlečeno s fotorezistom, z optično osvetlitvijo, kar je ključnega pomena za oblikovanje mikro-vezij v plošči. Natančen prenos vzorca vezja s fotomaske na stekleno podlago je predpogoj za nadaljnje postopke jedkanja, premazovanja in čiščenja PR, ki neposredno določajo kakovost zaslona zaslona. Oprema uporablja brez{6}}kontaktni postopek osvetlitve, ki je primeren za-velike, tanke steklene podlage LCD, pri čemer se izogne praskam podlage, poškodbam in kontaminaciji.
Glavne tehnološke poudarke vključujejo visoko{0}}natančen sistem poravnave z mikronsko- ali celo pod-mikronsko-natančnostjo prekrivanja, ki zagotavlja ničelno neusklajenost v več-plastnem zlaganju vezij z napakami, nadzorovanimi do nekaj tisočink premera lasu; uporaba svetlobnega vira enotne osvetlitve in tehnologije dinamičnega ostrenja za doseganje nihanj energije osvetlitve<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Celotna delavnica uporablja 589nm monokromatski vir rumene svetlobe, ki popolnoma filtrira svetlobo kratkih-valovnih dolžin, kot so ultravijolična, modra in bela svetloba, ter preprečuje, da bi ti žarki prezgodaj sprožili fotokemične reakcije v fotorezistu, kar bi povzročilo usodne napake, kot so neporavnanost vzorca, nepopolne črte, kratki stiki in odprti tokokrogi. Sistem osvetlitve uporablja kombinacijo namenskih rumenih LED in dvo-plastnih filtrov za preprečevanje uhajanja razpršene svetlobe; vrata, okna in opazovalna okna so opremljena z anti-ultravijoličnimi filtrirnimi materiali; Mobilni telefoni, fotoaparati, močne-svetilke in drugi zunanji viri svetlobe so v delavnici strogo prepovedani, izvaja se celoten-nadzor discipline osvetlitve območja, da se odpravi tveganje prezgodnje izpostavljenosti fotorezista iz vira.
Uvod v čiste prostore razreda 100 za proizvajalce LCD zaslonov
Na področju visoko{0}}natančne proizvodnje LCD so čisti prostori razreda 100 (čisti prostori razreda 5 ISO) osrednji proizvodni obrat in ključni pokazatelj proizvajalčeve tehnične moči in izkoristka izdelka. Vodilna podjetja za zaslone, kot so BOE, TCL CSOT, HKC in Tianma, jih pogosto uporabljajo v osnovnih fazah procesa, kot so nizi, sestavljanje celic in pakiranje modulov. Ti čisti prostori imajo stroge standarde čistoče, z največ 100 lebdečimi prašnimi delci s premerom večjim od ali enakim 0,5 μm na kubični čevelj zraka (manj kot ali enako 3520 na kubični meter). Ta stopnja čistoče daleč presega raven v medicinskih operacijskih dvoranah in služi kot "hardcore pregrada", ki preprečuje, da bi prah, statična elektrika in kemični onesnaževalci ovirali natančne procese. Je osnovna komponenta strojne opreme, ki neposredno določa kakovost slike zaslona, življenjsko dobo in stopnjo izkoristka.
Delavnica je zasnovana in zgrajena strogo v skladu z mednarodnimi in domačimi standardi ISO. Sprejema način navpičnega enosmernega pretoka zraka, skupaj s štiri-stopenjskim filtrirnim sistemom ULPA (pred-filter, srednje-filter, visoko-učinkovit filter in ultra-visoko-učinkovit filter), ki dosega učinkovitost filtracije do 99,999 %, kar zagotavlja takojšnje odstranjevanje prahu in odpravljanje mrtvih con zračnega toka. Hkrati je dosežen natančen nadzor okolja v vseh dimenzijah: stalna temperatura 23±1 stopinja, relativna vlažnost, nadzorovana pri 45%-55%, vzdrževanje pozitivnega tlaka v čistem območju in razlika v tlaku, večja ali enaka 10Pa med sosednjimi območji, kar popolnoma preprečuje infiltracijo zunanjega prahu; ob upoštevanju občutljivosti prikazovalnih plošč na elektrostatične poškodbe se uporabljajo anti{15}}statične epoksi samorazlivne-talne obloge, za stene in strope pa se uporabljajo jeklene plošče iz nerjavečega jekla 304 in čistih prostorov, s strogim nadzorom vrednosti statične elektrike v celotnem procesu; zagotovljen je dodaten nadzor za kemična onesnaževala HOS-na molekularni ravni in latentne motnje, kot so mikrovibracije, ki izpolnjujejo zahteve procesov nanometrskega merila, kot je fotolitografija, nanašanje tankega filma in vbrizgavanje tekočih kristalov.
Delavnica ima večplastno zasnovo coniranja čistih prostorov, razdeljeno na osrednje območje razreda 100, varovalno območje razreda 1000 in pomožno območje razreda 10.000, s plastmi, ki preprečujejo navzkrižno-kontaminacijo, osebje in avtomatizirane transportne linije materiala pa so popolnoma ločene. Osebje mora opraviti trojni postopek preoblačenja, zračne prhe in zaznavanja elektrostatičnega naboja in lahko vstopi šele, ko nosi -obleko za čisti prostor za celotno telo, -rokavice brez prahu in očala; materiali se prenašajo skozi zaklenjena prenosna okna in so podvrženi obdelavi za odstranjevanje prahu in statične elektrike; notranjost je opremljena s pokrovi laminarnega toka FFU, spletnimi števci delcev, senzorji temperature in vlažnosti, monitorji diferenčnega tlaka in drugo opremo za doseganje 24-urnega spremljanja v realnem času in sledljivosti podatkov ter bo takoj izdal opozorila in izvedel prilagoditve v primeru nenormalnih indikatorjev, da se zagotovi stalna okoljska stabilnost.
